氧化鋯氧分析儀故障判斷，盡管不同型號的直插式氧化鋯氧分析儀具體結構不同，但基本原理和基本結構是相同的，因此故障判斷的思路是相同的。下面說明故障檢查判別的一般方法和步驟。

　　 首先要判斷探頭恒溫是否正常，檢查池溫，如果池溫顯示值為設定值(如750℃士10℃)，說明加熱和溫控系統正常，否則可能出現幾種情況。

　　 ①池溫偏差大于 10℃而小于20℃，例如在730~770℃范圍內由于20℃的池溫偏差對測量0~10%O2產生的大偏差小于0.15%O2，因此可以不進行調整。這種情況多由煙氣溫度波動過大造成。

　　 ②當池溫顯示值遠高于設定值，例如850-900℃說明熱電偶斷路。因為轉換器內設有斷偶保護電路，一旦熱電偶斷路，它將產生一個毫伏信號代替熱電偶信號，使池溫顯示偏高，并使加熱電源斷開以保護探頭不至于被燒壞。此時雖然池溫顯示值為850~900℃，實際上電爐并未加熱。測量熱偶兩端電阻（必須斷開引線）可以證實這一點，熱電偶正常電阻應小于200Ω。

　　 ③池溫顯示值為高于設定值的某一值，例如800℃，說明溫控系統損壞，轉入超溫保護。在轉換器內設有超溫保護電路，當因某種原因爐溫失控溫度升到800℃時，轉由超溫保護電路進行溫控。這種情況應檢修。

　　 ④池溫顯示值低于650℃，首先應想到的是電爐沒有加熱，顯示的池溫是煙氣溫度。可能原因有爐絲燒斷和溫控系統損壞兩種，此時測量加熱爐絲電阻可以判明故障原因。

　　 ⑤新安裝探頭時，池溫升不到750℃，可能原因有兩個: a.煙速過大，探頭冷卻引起，可調大加熱電壓或在探頭保護管外面包一層保溫材料（如硅酸鋁纖維或石棉布)； b.熱電偶與外電極相碰，實際溫度高，而指示溫度低。這時需將熱電偶退出1~2mm。

　　 上面的介紹是以老式儀器為例，意圖在于說明儀器硬件的功能，目前的新型產品中已有故障自診斷功能，可直接提示某些故障的原因和部位。